Die JetModule sind integrierbare Prozesstechik-Einheiten zur automatisierten Reinigung mit CO2-Schnee.

Sie können sowohl mobil als auch stationär eingesetzt werden und eignen sich in Kombination mit Robotern oder Linearachsensystemen als automatische Reinigungssysteme vor und nach den unterschiedlichsten Bearbeitungsprozessen.

Eine Versorgungseinheit ist konzipiert für
Einzeldüsen und Düsenarrays mit bis zu 15 Düseneinsätzen.

JetModul Produktblatt

Abmessungen	650 x 550 x 1420 mm
Leergewicht	ca. 75 kg
CO2-Versorgung	Tauchrohrflasche, Flüssiggastank, Flaschenbündel
CO2-Verbrauch	max. 1,25l/min (bei 0,4mm Kapillare)
Standard-Kapillare	Ø 0,35 mm
Druckluftbedarf	Druckabhängig, Typisch 1250 l/min bei 6bar
Arbeitsdruck	Max 16 bar
Schlauchanschluss	Druckluftschnellkuplung NW 7,2
CO2-Anschluss	6mm Schneidringverschraubung
Stromanschluss	230 V / 16 A
Gehäusematerial	Edelstahl

>>Technologie

Düsenarray mit 5 Düsen.

Düsenarray mit 15 Düsen, examplarisch an Roboterarm.

Der optionale CO2 Alarmsensor dient als Raumluftüberwachung. Dieser Sensor überwacht permanent die Raumluft, und erzeugt ein Warnsignal, im Falle einer erhöhten CO2 Konzentration im Raum.

Heizsystem zur Erwärmung des Substrates. Hierbei wird der Mantelstrahl der Düsen erhitzt um während bzw. nach dem Reinigungsvorgang das Substrat vor Kondensation zu schützen.

Das acp CO2-Purifier System ist eine optionale Einheit, die eine partikuläre und chemische Aufbereitung des CO2- Strahlmediums für hochreine Anwendungen, z. B. Waferreinigung ermöglicht.